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先進封裝 Racer Pin™

Racer Pin™ 是奔馳科技自主研發的高密度銅柱植入封裝技術。採用預成型冷鍛無氧銅(OFC)銅柱,最小直徑可達 φ60 µm,透過專有巨量轉移治具同時植入數千根銅柱,定位精度 ±5 µm,植針間距(Gap)可精準控制至 10 µm 級別。EMC 環氧樹脂填充後,經機械研磨平坦化,銅/環氧共平面度優於 5 µm;銅柱高度可依需求在 300 至 2,400 µm 之間靈活調整,提供極高的設計彈性。

Racer Pin™ 在 HBM3E 測試探針陣列的應用中展現卓越優勢:在等同一顆 HBM3E die 面積(7.08 × 8.83 mm)內,可實現 12,726 根以上銅針,密度達 HBM3E microbump 數量(7,775 個)的 1.64 倍,完整覆蓋所有測試接點並留有冗餘對準容差。相較主流 MEMS 探針卡依賴半導體光刻製程,Racer Pin™ 無需潔淨室設備,製造成本可降低 30–50%,樣品交期從 8–12 週縮短至 2–4 週,顯著提升供應靈活性與客戶導入速度。

冷鍛 OFC 實心銅柱天然具備優於電鎢薄膜探針的導電率、機械耐久性與導熱性能,可承受更多接觸循環。模組化植入設計亦允許局部修復,單根損壞銅柱可單獨替換,有別於 MEMS 探針卡整片報廢的高維護成本。奔馳科技位於台灣新竹,整合完整半導體封裝供應鏈,並採雙銅柱供應來源策略(日本 FINECS 為主、美國 MW Components 為備援),從 PoC 樣品評估到量產交付,為客戶提供一站式先進封裝互連解決方案。

Racer Pin™ HBM3E 高密度銅柱探針陣列示意圖

錨點 1
技術規格

Cu Pillar

Pre-formed cold-forged OFC (C1020) solid copper pillar

Min. diameter φ60 µm

Height 300–2,400 µm adjustable

φ60 µm

H max 2,400 µm

Placement Accuracy

Proprietary mass-transfer fixture — thousands of pillars simultaneously

Placement accuracy ±5 µm

Gap control down to 10 µm

Cu/Epoxy co-planarity < 5 µm

±5 µm Gap 10 µm

HBM3E Probe Array

Footprint = 1× HBM3E die (7.08 × 8.83 mm)

12,726+ pins at 70 µm staggered pitch

1.64× HBM3E microbump (7,775) density

12,726+ pins

1.64× density

Durability

OFC conductivity & durability > electroformed W film probe

Contact resistance target < 100 mΩ / pin

Modular — individual pillar replaceable

Target contact life > 100,000 cycles

< 100 mΩ/pin

>100k cycles

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